1.數(shù)千ppm等級的定量精度

?檢出精度根據(jù)元素不同而有所差異，大概為數(shù)千ppm（個數(shù)％）等級。檢出界限為1500ppm～2000ppm。

2.色彩映射

?用色彩映射可以表示出在被分析試料的哪里、存在哪種元素、以及元素量是多少。

3. 多元素的同時測定

?因為可以同時測定B～U的元素，所以可以用于篩選未知元素。

4. 短時間內(nèi)的分析

?因為可以同時對多元素進(jìn)行測定，所以可以在短時間內(nèi)實施定性定量分析、色彩映射。

5.低真空模式下的分析

?通過通用SEM的低真空模式，在容易揮發(fā)氣體的試料和絕緣性試料的無蒸鍍觀察方面發(fā)揮威力。

若對半導(dǎo)體檢出器射入X線，可以生成與X線能量相當(dāng)數(shù)量的電子-正孔對，通過測定此數(shù)量（電流）可以知道X線的能量。檢出器為了減少電氣雜音，利用液氮冷卻，特征是可以同時測定從B到U的X線。

1.合金層觀察

?合金層組織比和有無形成合金層

?合金層厚度

2.異物分析

?基板附著異物

?filter和roller等制造工序異物

3.電鍍的斷面觀察