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C-SAM觀察(聲學(xué)掃描顯微鏡)

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簡介

利用高周波數(shù)帶域的超音波,觀察對象樣品內(nèi)部及外部情況。超音波持有在音響阻抗不同的物質(zhì)的境界面產(chǎn)生反射的性質(zhì),通過分析此類波形進(jìn)行接合狀態(tài)觀察和剝離情況檢查。特別是由于「對空氣的反射敏感度高」,被用于IC等半導(dǎo)體元器件的封裝剝離檢查。

分析原理

Qualtec使用的超音波顯微鏡是機(jī)械掃描型顯微鏡,作為超音波的發(fā)信和收信方法,無論是反射還是透過都可以對應(yīng)。

反射型的基板構(gòu)成是在浸泡在水中的樣品的上方放置配備有超音波探針的音響鏡頭和超音波變換器,與控制裝置接續(xù)。

從控制裝置發(fā)出的送信波的脈沖信號在變換器上印加電壓,激發(fā)超音波。超音波通過音響鏡頭聚焦,照射在水中浸泡的樣品上。

超音波通過樣品表面或內(nèi)部,在產(chǎn)生變化的同時(shí)在各自的界面產(chǎn)生反射。反射回來的超音波通過音響鏡頭再度接收,通過變換器變換成電氣信號,通過2D畫像表示反射信號變化。因?yàn)槌舨ǖ闹懿〝?shù)越高,照射的超音波脈沖幅度越窄,所以距離分解能越強(qiáng)。但是另一方面周波數(shù)若變高,則物質(zhì)中的超音波衰減,深度方向的有效觀察范圍變小。

設(shè)備

image.pngSonoscan制 C-SAM D-9000

所有變換器周波數(shù):

15MHz、30MHz、50MHz、100MHz、230MHz



解析事例

 1)IC 內(nèi)部 剝離檢查 

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 2)IC 內(nèi)部 剝離檢查和斷面觀察 

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 3)側(cè)面灌注樹脂觀察、IC接合部觀察

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