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一
FE-SEM(Field Emission SEM)是用束成電子束的電子線照射試料,觀察表面的裝置??梢赃M行超高分解能觀察。和通用SEM同樣,把電子線束起來當作是電子束來照射對象物體,通過檢出對象物體表面放出的二次電子和反射電子,進行對象的表面觀察。另外,因為JSM-7100F配備EDS和EBSD解析裝置,所以不僅可以進行高分解能觀察,還可以進行元素分析和結(jié)晶試料的方位解析(EBSD解析)。
1.可進行亞微米級觀察
通過通用SEM可在高倍率下進行形態(tài)觀察,可以取得更加鮮明的畫像。
2.EDX(能量分散型分析裝置)定性分析
FE-SEM安裝有EDX,在試料觀察的同時可以調(diào)查元素的種類、量、分布狀態(tài)。
3.EBSD結(jié)晶方位解析
可以進行焊錫和鋁等金屬結(jié)晶的微小方位差測定。
三
FE-SEM利用真空中束起的電子線掃描試料表面,檢出從試料產(chǎn)生的二次電子和反射電子,通過變換成電氣信號,在監(jiān)測器上顯示出試料表面的擴大畫像。與熱電子放出型SEM不同,因為使用電場放出型電子槍,可以得到長時間安定的電子探針。因此,不必等待電流安定就可以馬上觀察高倍率畫像。
四
?型號:JSM-7100F
?制造商:裝置:日本電子(株)
?分解能 :1.2nm(30kV),3.0nm(1kV)
?倍率 :×10~500,000
?觀察倍率:~約10萬倍
?試料室尺寸:86㎜φ×40mmH
?最大試料尺寸:32 mmφ 高度 30 mm
?EDS:EDAX社制 Pegasus
?EBSD:TSL社制
五
?表面凹凸狀態(tài)和組成像觀察
?電鍍等的膜厚測定
?焊錫等金屬觀察
?合金層觀察
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