EDS，也就是能量分散型X線分光器，是指把電子線照射到試料上，通過(guò)檢出產(chǎn)生的特性X線來(lái)分析試料所含元素的裝置。作用是通過(guò)電子線照射試料激發(fā)的特性X線的能量測(cè)定得到光譜，從而可以進(jìn)行試料表面元素。

  那么，EDS的工作原理是怎么樣的呢？又能檢測(cè)什么呢？

  若對(duì)半導(dǎo)體檢出器射入X線，可以生成與X線能量相當(dāng)數(shù)量的電子-正孔對(duì)，通過(guò)測(cè)定此數(shù)量（電流）可以知道X線的能量。檢出器為了減少電氣雜音，利用液氮冷卻，特征是可以同時(shí)測(cè)定從B到U的的X線。

1. 數(shù)千ppm等級(jí)的定量精度

  檢出精度根據(jù)元素不同而有所差異，大概為數(shù)千ppm（個(gè)數(shù)％）等級(jí)。檢出界限為1500ppm～2000ppm。

2. 色彩映射

  用色彩映射可以表示出在被分析試料的哪里、存在哪種元素、以及元素量是多少。

3. 多元素的同時(shí)測(cè)定

  因?yàn)榭梢酝瑫r(shí)測(cè)定B～U的元素，所以可以用于篩選未知元素。

4. 短時(shí)間內(nèi)的分析

  因?yàn)榭梢酝瑫r(shí)對(duì)多元素進(jìn)行測(cè)定，所以可以在短時(shí)間內(nèi)實(shí)施定性定量分析、色彩映射。

5. 低真空模式下的分析

  通過(guò)通用SEM的低真空模式，在容易揮發(fā)氣體的試料和絕緣性試料的無(wú)蒸鍍觀察方面發(fā)揮威力。